半导体行业废气处理
1、行业介绍:
半导体最学术的解释是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间并且导电性可控的材料,而在我们的日常生活中提到的半导体基本是指半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明应用、大功率电源转换等领域的应用。
这些领域中最为人熟知的就是集成电路芯片(例如Intel处理器,手机内存,闪存等等),所以我们经常以集成电路芯片产业指代半导体产业(另外主要还有分立器件以及光电器件两个大类)。
不吹不黑,芯片是我们一切现代生活的基础,从电视电脑到汽车手机,可以说只要涉及到人机互动的设备都需要芯片。
2、废气性质及成分:
主要是元器件组装焊接过程中对大气的污染和电路板等器件清洗等表面处理过程中因使用一些化学药剂(如硫酸、盐酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有机卤化物)挥发造成对大气环境的污染,以及整机装配过程中产生的机械噪声和少量粉尘也会造成环境污染,这些污染气体会造成人群慢性或急性中毒。由于半导体元件制程中,使用多种酸碱溶液、有机溶剂及特殊的有毒气体,其产生的废气及有毒物质污染强度大,若做不好污染防治工作,将造成严重的环境污染。
3、处理工艺:
该行业在生产过程中产生的废气风量小,浓度偏低,但成分复杂,需要根据废气的组成来选择合适的处理工艺,常用的处理工艺是吸附法。
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